Konsultant techniczny RSM podzieli się z Państwem zaletami cylindrycznych i płaskich celów do rozpylania magnetronowego?W porównaniu z innymi celami do napylania magnetronowego, cylindryczne i płaskie cele do napylania magnetronowego zachowują zalety dobrej jednorodności powłoki prostokątnych celów planarnych i mogą maksymalizować wykorzystanie celów na dwa następujące sposoby:
(1) Kiedy dwie grupy (cztery) pierścieniowych wgłębień na powierzchni celu osiągną określoną głębokość, rdzeń celu (część magnesu) można obrócić o 45° względem tubusu celu, tak aby inne obszary na tubusie celu które nie uległy korozji, można zastosować;
(2) Jeżeli rdzeń tarczy cylindrycznej i płaskiej tarczy do napylania magnetronowego jest zaprojektowany jako rdzeń wirujący (rdzeń tarczy obraca się podczas rozpylania), powierzchnię tarczy można równomiernie napylać warstwa po warstwie, bez wgłębień.W tym momencie cel zostanie wykorzystany najskuteczniej, a stopień wykorzystania celu może osiągnąć 50% ~ 60%. Jeśli materiałem docelowym jest metal szlachetny, ma to oczywiście ogromne znaczenie.
Wykorzystując zasadę magnesu z butem biegunowym we współosiowym cylindrycznym celu rozpylania magnetronu, aby rozwiązać problem końcowego pola magnetycznego, prostokątny cel płaski można przekształcić w cylindryczny i płaski cel rozpylania magnetronowego. Cel może zmaksymalizować stopień wykorzystania celu zachowując dobrą jednorodność powłoki prostokątnego celu płaskiego, aby poprawić korzyści ekonomiczne.
Czas publikacji: 04 lipca 2022 r