Jak wszyscy wiemy, istnieje wiele specyfikacji celów do rozpylania, a obszary ich zastosowań są również bardzo szerokie.Różne są także rodzaje celów powszechnie stosowanych w różnych dziedzinach.Dziś wspólnie z redaktorem RSM poznamy klasyfikację pól zastosowań docelowych rozpylania!
1. Definicja celu rozpylania
Rozpylanie jest jedną z głównych technologii wytwarzania materiałów cienkowarstwowych.Wykorzystuje jony wytwarzane przez źródło jonów do przyspieszania i gromadzenia się w próżni, tworząc wiązkę jonów o dużej prędkości, bombardując powierzchnię stałą, a jony wymieniają energię kinetyczną z atomami na powierzchni stałej, tak że atomy na powierzchni stałej powierzchniowe są oddzielane od ciała stałego i osadzane na powierzchni podłoża.Bombardowane ciało stałe jest surowcem do przygotowania cienkiej warstwy osadzanej metodą napylania katodowego, zwanej tarczą napylania.
2. Klasyfikacja docelowych pól zastosowań rozpylania
1. Cel półprzewodnikowy
(1) Wspólne cele: wspólne cele w tej dziedzinie obejmują metale o wysokiej temperaturze topnienia, takie jak tantal / miedź / tytan / aluminium / złoto / nikiel.
(2) Zastosowanie: stosowane głównie jako kluczowe surowce do układów scalonych.
(3) Wymagania dotyczące wydajności: wysokie wymagania techniczne dotyczące czystości, rozmiaru, integracji itp.
2. Cel dla wyświetlacza z płaskim panelem
(1) Wspólne cele: wspólne cele w tej dziedzinie obejmują aluminium / miedź / molibden / nikiel / niob / krzem / chrom itp.
(2) Zastosowanie: ten rodzaj tarczy jest najczęściej używany do różnego rodzaju filmów wielkopowierzchniowych, takich jak telewizory i notebooki.
(3) Wymagania dotyczące wydajności: wysokie wymagania dotyczące czystości, dużej powierzchni, jednorodności itp.
3. Materiał docelowy dla ogniwa słonecznego
(1) Wspólne cele: aluminium / miedź / molibden / chrom /ITO/Ta i inne cele w zakresie ogniw słonecznych.
(2) Zastosowanie: stosowane głównie w „warstwie okiennej”, warstwie barierowej, elektrodzie i folii przewodzącej.
(3) Wymagania eksploatacyjne: wysokie wymagania techniczne i szeroki zakres zastosowań.
4. Cel przechowywania informacji
(1) Wspólne cele: wspólne cele dotyczące kobaltu / niklu / żelazostopów / chromu / telluru / selenu i innych materiałów do przechowywania informacji.
(2) Zastosowanie: ten rodzaj materiału docelowego jest używany głównie do produkcji głowicy magnetycznej, warstwy środkowej i dolnej warstwy napędu optycznego i dysku optycznego.
(3) Wymagania dotyczące wydajności: wymagana jest duża gęstość przechowywania i duża prędkość transmisji.
5. Cel modyfikacji narzędzia
(1) Wspólne cele: wspólne cele, takie jak stop tytanu / cyrkonu / chromu i aluminium modyfikowany narzędziami.
(2) Zastosowanie: zwykle stosowane do wzmacniania powierzchni.
(3) Wymagania dotyczące wydajności: wysokie wymagania dotyczące wydajności i długa żywotność.
6. Cele dla urządzeń elektronicznych
(1) Wspólne cele: wspólne cele dotyczące stopów aluminium/krzemków w urządzeniach elektronicznych
(2) Przeznaczenie: powszechnie stosowane do rezystorów cienkowarstwowych i kondensatorów.
(3) Wymagania eksploatacyjne: mały rozmiar, stabilność, niski współczynnik temperaturowy rezystancji
Czas publikacji: 27 lipca 2022 r