W ostatnich latach, wraz z postępem technologii układów scalonych (IC), szybko rozwinęły się powiązane zastosowania układów scalonych.Cel napylania stopu aluminium o ultrawysokiej czystości, jako materiał pomocniczy w produkcji metalowych połączeń wzajemnych w układach scalonych, stał się gorącym tematem w ostatnich badaniach krajowych.redaktor RSM pokaże nam charakterystykę celu do napylania stopu aluminium o wysokiej czystości.
Aby jeszcze bardziej poprawić skuteczność rozpylania celu do napylania magnetronowego i zapewnić jakość osadzonych folii, duża liczba eksperymentów pokazuje, że istnieją pewne wymagania dotyczące składu, mikrostruktury i orientacji ziaren celu do napylania stopu aluminium o ultrawysokiej czystości.
Wielkość ziaren i orientacja ziaren celu mają ogromny wpływ na przygotowanie i właściwości folii IC.Wyniki pokazują, że szybkość osadzania maleje wraz ze wzrostem wielkości ziaren;W przypadku tarczy napylającej o tym samym składzie, szybkość napylania tarczy o małym rozmiarze ziarna jest większa niż w przypadku tarczy o większym rozmiarze ziarna;Im bardziej jednolity jest rozmiar ziaren targetu, tym bardziej równomierny jest rozkład grubości osadzonych folii.
Przy tym samym urządzeniu do napylania i parametrach procesu, szybkość rozpylania docelowego stopu Al Cu wzrasta wraz ze wzrostem gęstości atomowej, ale ogólnie jest stabilna w pewnym zakresie.Wpływ wielkości ziaren na szybkość rozpylania wynika ze zmiany gęstości atomowej wraz ze zmianą wielkości ziaren;Na szybkość osadzania wpływa głównie orientacja ziaren docelowego stopu Al Cu.Na podstawie zapewnienia proporcji (200) płaszczyzn kryształów, zwiększenie proporcji (111), (220) i (311) płaszczyzn kryształów spowoduje zwiększenie szybkości osadzania.
Wielkość ziaren i orientacja ziaren tarcz ze stopu aluminium o ultrawysokiej czystości są regulowane i kontrolowane głównie poprzez homogenizację wlewków, obróbkę na gorąco i wyżarzanie rekrystalizacyjne.Wraz ze wzrostem rozmiarów płytek do 20,32 cm (8 cali) i 30,48 cm (12 cali), rozmiar docelowy również wzrasta, co stawia wyższe wymagania w stosunku do celów napylania stopów aluminium o ultrawysokiej czystości.Aby zapewnić jakość i wydajność folii, docelowe parametry przetwarzania muszą być ściśle kontrolowane, aby docelowa mikrostruktura była jednolita, a orientacja ziaren musi mieć mocną (200) i (220) płaską teksturę.
Czas publikacji: 30 czerwca 2022 r