Tarcze napylane molibdenem są szeroko stosowane w przemyśle elektronicznym, ogniwach słonecznych, powlekaniu szkła i innych dziedzinach ze względu na ich nieodłączne zalety.Wraz z szybkim rozwojem nowoczesnych technologii w zakresie miniaturyzacji, integracji, cyfryzacji i inteligencji, zastosowanie tarcz molibdenowych będzie nadal rosło, a wymagania jakościowe wobec nich również będą coraz wyższe.Musimy zatem znaleźć sposoby na poprawę stopnia wykorzystania docelowych zasobów molibdenu.Teraz redaktor RSM przedstawi kilka metod poprawy stopnia wykorzystania celów napylania molibdenu dla każdego
1. Dodaj cewkę elektromagnetyczną na odwrotnej stronie
Aby poprawić stopień wykorzystania napylanej tarczy molibdenowej, można dodać cewkę elektromagnetyczną na odwrotnej stronie płaskiej tarczy molibdenowej napylanej magnetronem, a pole magnetyczne na powierzchni tarczy molibdenowej można zwiększyć poprzez zwiększenie prądu cewka elektromagnetyczna, aby poprawić stopień wykorzystania celu molibdenowego.
2. Wybierz rurowy materiał docelowy
W porównaniu z tarczami płaskimi, wybór rurowej konstrukcji tarczy obrotowej podkreśla jej istotne zalety.Ogólnie rzecz biorąc, stopień wykorzystania celów płaskich wynosi tylko 30% do 50%, podczas gdy stopień wykorzystania celów rurowych obrotowych może osiągnąć ponad 80%.Co więcej, w przypadku korzystania z obrotowej tarczy napylającej magnetron z pustą rurką, ponieważ tarcza może cały czas obracać się wokół zespołu nieruchomego magnesu prętowego, nie będzie ponownego osadzania się na jej powierzchni, więc żywotność tarczy obrotowej jest na ogół ponad 5 razy dłuższa niż cel samolotu.
3. Wymień sprzęt napylający na nowy
Kluczem do poprawy stopnia wykorzystania materiałów docelowych jest dokończenie wymiany sprzętu do napylania.Podczas procesu napylania materiału tarczy napylanego molibdenem około jedna szósta atomów napylających osadza się na ścianie komory próżniowej lub wsporniku po uderzeniu jonami wodoru, co zwiększa koszty czyszczenia sprzętu próżniowego i przestoje.Zatem wymiana nowego sprzętu do napylania może również pomóc w poprawie stopnia wykorzystania celów z napylania molibdenowego.
Czas publikacji: 24 maja 2023 r