Główne właściwości materiału tarczy rozpylanej

Musimy być teraz bardzo zaznajomieni z celem, teraz rynek docelowy również się zwiększa. Poniżej przedstawiono główne działanie celu rozpylania, udostępnione przez redaktora z RSM

　　Czystość

Czystość materiału tarczy jest jednym z głównych wskaźników wydajności, ponieważ czystość materiału tarczy ma ogromny wpływ na wydajność cienkiej folii.Jednakże w praktyce wymagania dotyczące czystości materiałów docelowych nie są takie same.Na przykład wraz z szybkim rozwojem przemysłu mikroelektroniki rozmiar chipa krzemowego wzrósł z 6”, 8” do 12”, a szerokość okablowania została zmniejszona z 0,5 um do 0,25 um, 0,18 um, a nawet 0,13 um.Wcześniej czystość materiału docelowego wynosząca 99,995% mogła spełniać wymagania procesu wynoszące 0,35 µM.Czystość materiału docelowego wynosi 99,999% lub nawet 99,9999% w przypadku przygotowania linii 0,18um.

　　Zawartość zanieczyszczeń

Zanieczyszczenia w docelowej substancji stałej oraz tlen i para wodna w porach są głównymi źródłami zanieczyszczeń w postaci osadzania się filmu.Materiały docelowe do różnych celów mają różne wymagania dotyczące różnej zawartości zanieczyszczeń.Na przykład cele z czystego aluminium i stopów aluminium stosowane w przemyśle półprzewodników mają specjalne wymagania dotyczące zawartości metali alkalicznych i pierwiastków radioaktywnych.

　　Gęstość

Aby zmniejszyć porowatość docelowej substancji stałej i poprawić działanie powłoki do napylania, zwykle wymagana jest duża gęstość tarczy.Gęstość celu wpływa nie tylko na szybkość rozpylania, ale także na właściwości elektryczne i optyczne folii.Im wyższa gęstość docelowa, tym lepsza wydajność filmu.Ponadto zwiększenie gęstości i wytrzymałości targetu sprawia, że ​​target lepiej wytrzymuje naprężenia termiczne w procesie napylania.Gęstość jest również jednym z kluczowych wskaźników wydajności celu.

　　Wielkość ziarna i rozkład wielkości ziaren

Cel jest zwykle polikrystaliczny, a wielkość ziaren waha się od mikrometra do milimetra.W przypadku tego samego celu szybkość rozpylania celu o małych ziarnach jest większa niż w przypadku celu o dużych ziarnach.Rozkład grubości folii osadzonych przez napylanie tarczy z mniejszą różnicą wielkości ziaren (rozkład równomierny) jest bardziej równomierny.