Materiał docelowy stosowany w branży przechowywania danych wymaga wysokiej czystości, a zanieczyszczenia i pory muszą być zminimalizowane, aby uniknąć wytwarzania cząstek zanieczyszczeń podczas rozpylania katodowego.Materiał docelowy stosowany w produktach wysokiej jakości wymaga, aby jego cząstki kryształów były małe i jednolite oraz nie miały orientacji kryształów.Poniżej przyjrzyjmy się wymaganiom branży pamięci optycznych w stosunku do materiału docelowego?
1. Czystość
W zastosowaniach praktycznych czystość materiałów docelowych różni się w zależności od różnych branż i wymagań.Jednak ogólnie rzecz biorąc, im wyższa czystość materiału docelowego, tym lepsze działanie napylonej folii.Na przykład w przemyśle optycznym wymagana jest czystość materiału docelowego większa niż 3N5 lub 4N
2. Zawartość zanieczyszczeń
Materiał docelowy służy jako źródło katody podczas rozpylania katodowego, a zanieczyszczenia w substancji stałej oraz tlen i para wodna w porach są głównymi źródłami zanieczyszczeń powodującymi osadzanie się cienkich warstw.Ponadto istnieją specjalne wymagania dotyczące celów o różnych zastosowaniach.Biorąc za przykład przemysł optyczny, zawartość zanieczyszczeń w tarczach napylających musi być kontrolowana na bardzo niskim poziomie, aby zapewnić jakość powłoki.
3. Wielkość i rozkład wielkości ziaren
Zwykle materiał docelowy ma strukturę polikrystaliczną, a wielkość ziaren waha się od mikrometrów do milimetrów.W przypadku celów o tym samym składzie szybkość rozpylania celów drobnoziarnistych jest większa niż celów gruboziarnistych.W przypadku celów o mniejszych różnicach w wielkości ziaren grubość osadzonej warstwy będzie również bardziej jednolita.
4. Zwartość
Aby zmniejszyć porowatość stałego materiału docelowego i poprawić działanie folii, ogólnie wymagane jest, aby materiał docelowy do napylania katodowego miał dużą gęstość.Gęstość materiału docelowego zależy głównie od procesu przygotowania.Materiał docelowy wytwarzany metodą topienia i odlewania może zapewnić, że wewnątrz materiału docelowego nie będzie porów, a gęstość będzie bardzo wysoka.
Czas publikacji: 18 lipca 2023 r