Ze względu na wysoką stabilność temperaturową, wysoką odporność na migrację elektronów i wysoki współczynnik emisji elektronów ogniotrwałego wolframu i stopów wolframu, cele z wolframu i stopów wolframu o wysokiej czystości są wykorzystywane głównie do produkcji elektrod bramkowych, okablowania połączeniowego, warstw bariery dyfuzyjnej itp. półprzewodników układy scalone i mają wysokie wymagania dotyczące czystości, zawartości pierwiastków zanieczyszczających, gęstości, wielkości ziaren i jednorodności struktury ziaren materiałów.Przyjrzyjmy się teraz czynnikom wpływającym na przygotowanie tarczy wolframowej o wysokiej czystości.
1. Wpływ temperatury spiekania
Proces formowania docelowego zarodka wolframowego zazwyczaj odbywa się poprzez prasowanie izostatyczne na zimno.Ziarno wolframu będzie rosło podczas procesu spiekania.Wzrost ziarna wolframu wypełni lukę pomiędzy granicami ziaren, poprawiając w ten sposób gęstość tarczy wolframowej.Wraz ze wzrostem czasu spiekania, wzrost gęstości docelowej wolframu stopniowo spowalnia.Głównym powodem jest to, że po wielokrotnym spiekaniu jakość tarczy wolframowej nie uległa większym zmianom.Ponieważ większość pustych przestrzeni na granicy ziaren jest wypełniona kryształami wolframu, po każdym spiekaniu całkowite tempo zmiany rozmiaru tarczy wolframowej jest bardzo małe, co skutkuje ograniczoną przestrzenią dla wzrostu gęstości tarczy wolframowej.W procesie spiekania wyhodowane ziarna wolframu wypełniają puste przestrzenie, co skutkuje większą gęstością tarczy przy mniejszym rozmiarze cząstek.
2. Wpływ czasu utrzymywania
Przy tej samej temperaturze spiekania zwartość tarczy wolframowej będzie się poprawiać wraz z wydłużeniem czasu utrzymywania spiekania.Wraz z wydłużeniem czasu przetrzymywania wielkość ziaren wolframu będzie się zwiększać, a wraz z wydłużeniem czasu przetrzymywania czasy wzrostu wielkości ziaren będą stopniowo zwalniać, co oznacza, że wydłużenie czasu przetrzymywania może również poprawić wydajność cel wolframowy.
3. Wpływ toczenia na właściwości celu
Aby poprawić gęstość docelowego materiału wolframowego i uzyskać strukturę przetwarzania docelowego materiału wolframowego, walcowanie materiału wolframowego w średniej temperaturze należy przeprowadzić poniżej temperatury rekrystalizacji.Jeśli temperatura walcowania kęsa docelowego jest wysoka, struktura włókien kęsa docelowego będzie gruba i odwrotnie.Gdy szybkość walcowania na ciepło osiąga ponad 95%.Chociaż różnice w strukturze włókien spowodowane różnymi pierwotnymi ziarnami lub różnymi temperaturami walcowania zostaną wyeliminowane, wewnętrzna struktura targetu utworzy stosunkowo jednolitą strukturę włókien, więc im wyższa szybkość przetwarzania walcowania na ciepło, tym lepsza wydajność targetu
Czas publikacji: 15 lutego 2023 r