Materiały docelowe niobowe są stosowane głównie w powłokach optycznych, powłokach materiałów do inżynierii powierzchni i przemyśle powłokowym, takich jak odporność na ciepło, odporność na korozję i wysoka przewodność.W dziedzinie powłok optycznych stosuje się go głównie w okulistycznych produktach optycznych, soczewkach, optyce precyzyjnej, powłokach wielkopowierzchniowych, powłokach 3D i innych aspektach.
Materiał tarczy niobowej jest zwykle nazywany gołym celem.Najpierw jest on przyspawany do miedzianej tarczy tylnej, a następnie poddawany napylaniu katodowemu w celu osadzenia atomów niobu w postaci tlenków na materiale podłoża, uzyskując powłokę napylaną.Wraz z ciągłym pogłębianiem i rozszerzaniem technologii i zastosowań tarczy niobowej, wymagania dotyczące jednorodności mikrostruktury tarczy niobowej wzrosły, objawiając się głównie w trzech aspektach: rozdrobnieniu wielkości ziaren, braku oczywistej orientacji tekstury i zwiększonej czystości chemicznej.
Jednolity rozkład mikrostruktury i właściwości w całym tarczy ma kluczowe znaczenie dla zapewnienia wydajności rozpylania materiałów tarczy niobowej.Powierzchnia tarcz niobowych spotykana w produkcji przemysłowej zwykle wykazuje regularne wzory, które w dużym stopniu wpływają na skuteczność rozpylania tarcz.Jak możemy poprawić stopień wykorzystania celów?
Badania wykazały, że zawartość zanieczyszczeń (czystość docelowa) jest ważnym czynnikiem wpływającym na czystość.Skład chemiczny surowców jest nierówny, a zanieczyszczenia są wzbogacone.Po późniejszej obróbce walcowania na powierzchni materiału tarczy niobowej tworzą się regularne wzory;Wyeliminowanie nierównomiernego rozmieszczenia składników surowców i wzbogacenie zanieczyszczeń pozwala uniknąć tworzenia się regularnych wzorów na powierzchni tarcz niobowych.Wpływ wielkości ziarna i składu strukturalnego na materiał docelowy może być prawie nieistotny.
Czas publikacji: 19 czerwca 2023 r