Materiały tarcz napylanych mają podczas użytkowania wysokie wymagania, nie tylko dotyczące czystości i wielkości cząstek, ale także jednolitej wielkości cząstek.Te wysokie wymagania sprawiają, że zwracamy większą uwagę podczas stosowania materiałów docelowych do napylania katodowego.
1. Przygotowanie do napylania
Bardzo ważne jest utrzymanie czystości komory próżniowej, zwłaszcza układu napylającego.Smary, kurz i wszelkie pozostałości poprzednich powłok mogą gromadzić zanieczyszczenia, takie jak woda, bezpośrednio wpływając na próżnię i zwiększając prawdopodobieństwo nieprawidłowego tworzenia się powłoki.Zwarcia, łuki tarcz, szorstkie powierzchnie tworzące błony i nadmierne zanieczyszczenia chemiczne są zwykle spowodowane nieczystymi komorami napylania, bronią i tarczami.
Aby zachować właściwości składu powłoki, gaz do rozpylania (argon lub tlen) musi być czysty i suchy.Po zainstalowaniu podłoża w komorze napylania należy odessać powietrze w celu uzyskania wymaganego dla procesu poziomu próżni.
2. Czyszczenie docelowe
Celem czyszczenia tarczy jest usunięcie kurzu lub brudu, który może znajdować się na powierzchni tarczy.
3. Instalacja docelowa
Najważniejszą rzeczą, na którą należy zwrócić uwagę podczas procesu instalacji materiału docelowego, jest zapewnienie dobrego połączenia termicznego pomiędzy materiałem docelowym a ścianką chłodzącą pistoletu napylającego.Jeśli ściana chłodząca lub płyta tylna zostaną poważnie wypaczone, może to spowodować pęknięcie lub wygięcie podczas montażu docelowego materiału.Przenikanie ciepła z tylnej tarczy do materiału tarczy będzie znacznie zakłócone, co spowoduje niemożność rozproszenia ciepła podczas rozpylania katodowego, co ostatecznie doprowadzi do pękania lub odchylenia materiału tarczy.
4. Kontrola zwarcia i szczelności
Po zamontowaniu materiału docelowego należy sprawdzić zwarcie i szczelność całej katody.Zaleca się użycie omomierza i megaomomierza w celu ustalenia, czy katoda jest zwarta.Po upewnieniu się, że katoda nie jest zwarta, można przeprowadzić wykrycie nieszczelności poprzez wstrzyknięcie wody do katody w celu sprawdzenia, czy nie ma wycieku.
5. Wstępne napylanie materiału docelowego
Do wstępnego napylania materiału tarczy zaleca się stosowanie czystego argonu, który może oczyścić powierzchnię materiału tarczy.Zaleca się powolne zwiększanie mocy napylania podczas procesu napylania wstępnego materiału docelowego.Moc ceramicznego materiału docelowego
Czas publikacji: 19 października 2023 r