Szerokie zastosowanie materiału tarczowego w różnych zawodach powoduje, że zapotrzebowanie na materiał tarczowy jest coraz większe.Następujące Będziemy krótko przedstawić Ty jakie są podstawowe wymagania funkcjonalne celu, chmieluing pomóc Ci.
Czystość: Czystość jest jednym z głównych wskaźników funkcjonalnych celu, ponieważ czystość targetu ma ogromny wpływ na funkcję folii.Jednak w praktyce czystość materiału docelowego nie jest taka sama.Na przykład wraz z szybkim rozwojem zawodu mikroelektronika rozmiar płytki krzemowej wzrósł z 6”, 8” do 12”, a szerokość okablowania spadła z 0,5 um do 0,25 um, 0,18 um, a nawet 0,13 um.Gdy 99,995% docelowej czystości może spełnić wymagania technologiczne 0,35 UMIC.Przygotowanie linii 0,18um wymaga czystości materiału docelowego na poziomie 99,999% lub nawet 99,9999%.
Gęstość: Aby zmniejszyć porowatość docelowej substancji stałej i poprawić działanie warstwy do napylania, wymaga się zwykle, aby tarcza miała dużą gęstość.Gęstość docelowa wpływa nie tylko na szybkość rozpylania, ale także na właściwości elektryczne i optyczne folii.Im wyższa gęstość docelowa, tym lepsza funkcja folii. Ponadto zwiększono gęstość i wytrzymałość materiału docelowego, aby lepiej wytrzymywał naprężenia termiczne podczas rozpylania katodowego.Gęstość jest również jednym z ważnych wskaźników funkcjonalnych substancji docelowych.
Zawartość zanieczyszczeń: zanieczyszczenia w docelowej substancji stałej oraz tlen i para wodna w porach są głównymi źródłami zanieczyszczeń nagromadzonych filmów. Różne materiały docelowe do różnych celów mają różne wymagania dotyczące różnej zawartości zanieczyszczeń.Na przykład cele z czystego aluminium i stopów aluminium stosowane w przemyśle półprzewodników mają specjalne wymagania dotyczące zawartości metali alkalicznych i pierwiastków radioaktywnych.
Czas publikacji: 6 czerwca 2022 r