Wielu użytkowników nie traktuje zakupu tarcz z profesjonalnego punktu widzenia, zatem na co należy zwrócić uwagę przy zakupie tarcz?Poprośmy Xiaobiana z Pekinu Ruichi o zwrócenie uwagi na kwestie wymagające uwagi przy zakupie celów.
Po pierwsze, dla celu czystość jest jednym z głównych wskaźników funkcjonalnych, a czystość celu ma ogromny wpływ na funkcję późniejszej folii produktowej.Każdy produkt ma także inne wymagania co do czystości celu.
Po drugie, zawartość zanieczyszczeń poszczególnych pierwiastków w targetze.Po serii docelowej obróbki, głównymi źródłami zanieczyszczeń osadzonych filmów są zanieczyszczenia w docelowej substancji stałej oraz tlen i para wodna w porach.Ze względu na różne zastosowania tarcz, wymagania dotyczące różnej zawartości zanieczyszczeń w tarczach o różnych zastosowaniach są również różne.Na przykład cele z czystego aluminium i stopów aluminium stosowane w przemyśle półprzewodników mają obecnie specjalne wymagania dotyczące zawartości metali alkalicznych i pierwiastków radioaktywnych.
Gęstość jest także jednym z ważnych wskaźników wydajności tarczy. W procesie technicznym tarczy, w celu zmniejszenia porów w docelowej substancji stałej i poprawy działania napylanej folii, wymaga się, aby tarcza miała dużą gęstość.Główna gęstość charakterystyczna celu ma duży wpływ na szybkość rozpylania oraz wpływa na funkcje elektryczne i optyczne folii.Im wyższa gęstość docelowa, tym lepsza funkcja folii.
Wreszcie wielkość i rozkład ziaren.Zwykle materiałem docelowym jest polikrystaliczny, a wielkość ziaren może wahać się od mikronów do milimetrów.W przypadku tego samego celu szybkość rozpylania celu drobnoziarnistego jest większa niż w przypadku celu gruboziarnistego;Grubość folii osadzonych metodą napylania docelowego z małą różnicą wielkości ziaren (jednolita dyspersja) jest bardziej jednolita.
Czas publikacji: 10 czerwca 2022 r