Tarcza ma wiele funkcji i szerokie zastosowanie w wielu dziedzinach.Nowy sprzęt do rozpylania prawie wykorzystuje potężne magnesy do spiralowania elektronów, aby przyspieszyć jonizację argonu wokół celu, co zwiększa prawdopodobieństwo zderzenia celu z jonami argonu,
Zwiększ szybkość rozpylania.Ogólnie rzecz biorąc, rozpylanie DC jest stosowane do powlekania metali, podczas gdy rozpylanie komunikacyjne RF jest stosowane w przypadku nieprzewodzących ceramicznych materiałów magnetycznych.Podstawową zasadą jest użycie wyładowania jarzeniowego do uderzenia jonów argonu (AR) w powierzchnię tarczy w próżni, a kationy w plazmie przyspieszą i pędzą na powierzchnię elektrody ujemnej w postaci rozpryskanego materiału.Uderzenie spowoduje, że materiał celu wyleci i osadzi się na podłożu, tworząc warstwę.
Ogólnie rzecz biorąc, istnieje kilka cech powlekania folią przy użyciu procesu napylania katodowego:
(1) Metal, stop lub izolator można przekształcić w dane cienkowarstwowe.
(2) W odpowiednich warunkach film o tym samym składzie może być wykonany z wielu nieuporządkowanych celów.
(3) Mieszaninę lub związek materiału tarczy i cząsteczek gazu można wytworzyć przez dodanie tlenu lub innych gazów aktywnych do atmosfery wyładowczej.
(4) Można kontrolować docelowy prąd wejściowy i czas rozpylania i łatwo jest uzyskać bardzo precyzyjną grubość warstwy.
(5) Jest to korzystne przy produkcji innych filmów.
(6) Na rozpylane cząstki prawie nie ma wpływu grawitacja, a cel i podłoże można dowolnie organizować.
Czas publikacji: 24 maja 2022 r