Wraz ze wzrostem zapotrzebowania rynku stale aktualizowanych jest coraz więcej rodzajów celów do rozpylania.Niektóre są znane, inne nieznane klientom.Teraz chcielibyśmy podzielić się z Wami, jakie są rodzaje celów rozpylania magnetronowego.
Tarcze do napylania mają następujące typy: tarcza do napylania metali, tarcza do napylania stopów, tarcza do napylania ceramicznego, tarcza do napylania ceramicznego z borku, tarcza do napylania z węglika ceramicznego, tarcza do napylania ceramiki fluorkowej, tarcza do napylania azotku ceramicznego, tarcza z tlenku ceramiki, tarcza do napylania ceramiki selenkowej , tarcza do napylania ceramiki krzemkowej, tarcza do napylania ceramiki siarczkowej, tarcza do napylania ceramiki tellurkowej, inne tarcze ceramiczne, tarcza ceramiczna z tlenku krzemu domieszkowanego chromem (CR SiO), tarcza z fosforku indu (INP), tarcza z arsenku ołowiu (pbas), tarcza z arsenku indu (InAs ).
Rozpylanie magnetronowe ogólnie dzieli się na dwa typy: rozpylanie DC i rozpylanie RF.Zasada działania sprzętu do napylania prądem stałym jest prosta, a jego szybkość jest również duża w przypadku napylania metalu.Rozpylanie RF jest szeroko stosowane.Oprócz rozpylania danych przewodzących może również rozpylać dane nieprzewodzące.Jednocześnie tarcza do rozpylania przeprowadza również rozpylanie reaktywne w celu przygotowania danych złożonych, takich jak tlenki, azotki i węgliki.Jeśli częstotliwość RF wzrośnie, stanie się to mikrofalowym rozpylaniem plazmy.Obecnie powszechnie stosuje się mikrofalowe rozpylanie plazmowe za pomocą elektronowego rezonansu cyklotronowego (ECR).
Czas publikacji: 18 maja 2022 r