Teraz coraz więcej użytkowników rozumie rodzaje celów ijego zastosowania, ale jego podział może nie być zbyt jasny.Teraz zróbmy toInżynier RSM podzielić się z Tobąjakaś indukcja celów rozpylania magnetronowego.
Cel napylania: tarcza napylania metalu, tarcza napylania stopu, tarcza napylania ceramicznego, tarcza napylania ceramiki borkowej, tarcza napylania ceramiki węglikowej, tarcza napylania ceramiki fluorkowej, tarcza napylania azotku ceramiki, tarcza ceramiki tlenkowej, tarcza napylania ceramiki selenkowej, tarcza napylania ceramiki krzemkowej tarcza, tarcza do napylania ceramiki siarczkowej, tarcza do napylania ceramiki tellurkowej, inne tarcze ceramiczne, tarcza ceramiczna z tlenku krzemu domieszkowanego chromem (CR SiO), tarcza z fosforku indu (INP), tarcza z arsenku ołowiu (pbas), tarcza z arsenku indu (InAs).
Rozpylanie magnetronowe ogólnie dzieli się na dwa typy: rozpylanie DC i rozpylanie RF.Zasada działania sprzętu do napylania prądem stałym jest prosta, a jego szybkość jest również duża w przypadku napylania metalu.Rozpylanie RF jest szeroko stosowane.Oprócz rozpylania danych przewodzących może również rozpylać dane nieprzewodzące.Cel napylania można również wykorzystać do napylania reaktywnego w celu przygotowania danych dotyczących związków, takich jak tlenki, azotki i węgliki.Jeśli częstotliwość RF wzrośnie, stanie się to mikrofalowym rozpylaniem plazmy.Obecnie powszechnie stosuje się mikrofalowe rozpylanie plazmowe za pomocą elektronowego rezonansu cyklotronowego (ECR).
Czas publikacji: 26 maja 2022 r