Polikrzem jest ważnym materiałem docelowym do rozpylania.Zastosowanie metody rozpylania magnetronowego do przygotowania SiO2 i innych cienkich warstw może sprawić, że materiał matrycy będzie miał lepszą odporność optyczną, dielektryczną i korozyjną, co jest szeroko stosowane w ekranach dotykowych, przemyśle optycznym i innych gałęziach przemysłu.
Proces odlewania długich kryształów ma na celu stopniowe krzepnięcie kierunkowego ciekłego krzemu od dołu do góry poprzez dokładną kontrolę temperatury grzejnika w gorącym polu pieca wlewniczego oraz rozpraszanie ciepła przez materiał termoizolacyjny, a także prędkość krzepnięcia długich kryształów wynosi 0,8 ~ 1,2 cm/h.Jednocześnie w procesie krzepnięcia kierunkowego można zrealizować efekt segregacji elementów metalowych w materiałach krzemowych, większość elementów metalowych można oczyścić i utworzyć jednolitą strukturę ziaren polikrystalicznego krzemu.
Odlewniczy polikrzem również wymaga celowego domieszkowania w procesie produkcyjnym, aby zmienić stężenie zanieczyszczeń akceptorowych w stopionym krzemie.Główną domieszką polikrzemu odlewanego typu p w przemyśle jest przedwzmacniacz krzemowo-borowy, w którym zawartość boru wynosi około 0,025%.Ilość domieszki jest określana na podstawie docelowej rezystywności płytki krzemowej.Optymalna rezystywność wynosi 0,02 ~ 0,05 Ω • cm, a odpowiadające jej stężenie boru wynosi około 2 × 1014cm-3. Jednakże współczynnik segregacji boru w krzemie wynosi 0,8, co pokaże pewien efekt segregacji w procesie kierunkowego krzepnięcia, który oznacza to, że pierwiastek boru jest rozprowadzany gradientowo w kierunku pionowym wlewka, a rezystywność stopniowo maleje od dołu do góry wlewka.
Czas publikacji: 26 lipca 2022 r