Krzemek wolframu

Krzemek wolframu WSi2 stosowany jest jako materiał elektrowstrząsowy w mikroelektronice, manewrowaniu na drutach polikrzemowych, powłokach przeciwutleniających i powłokach drutów oporowych.Krzemek wolframu stosowany jest jako materiał kontaktowy w mikroelektronice, o oporności 60-80μΩcm.Powstaje w temperaturze 1000°C.Zwykle stosuje się go jako bocznik dla linii polikrzemowych w celu zwiększenia jego przewodności i zwiększenia prędkości sygnału.Warstwę krzemku wolframu można wytworzyć przez chemiczne osadzanie z fazy gazowej, takie jak osadzanie z fazy gazowej.Jako gaz surowcowy należy stosować monosilan lub dichlorosilan i sześciofluorek wolframu.Osadzona folia nie jest stechiometryczna i wymaga wyżarzania, aby przekształcić ją w bardziej przewodzącą postać stechiometryczną.

Krzemek wolframu może zastąpić wcześniejszą warstwę wolframu.Krzemek wolframu jest również stosowany jako warstwa barierowa między krzemem a innymi metalami.

Krzemek wolframu jest również bardzo cenny w układach mikroelektromechanicznych, wśród których krzemek wolframu stosowany jest głównie jako cienka warstwa do produkcji mikroukładów.W tym celu warstwę krzemku wolframu można trawić plazmowo, na przykład za pomocą krzemku.

Firma Rich Special Materials specjalizuje się w produkcji tarcz do napylania i może produkować materiały do ​​napylania krzemku wolframu zgodnie ze specyfikacjami klientów.Aby uzyskać więcej informacji, skontaktuj się z nami.